OP5340(膜厚儀)
涌淳半導(dǎo)體專注于半導(dǎo)體工藝設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售及售后一體化服務(wù),提供半導(dǎo)體廠商工藝設(shè)備的一站式解決方案。
關(guān)鍵詞:
半導(dǎo)體設(shè)備、半導(dǎo)體工藝
所屬分類:
產(chǎn)品描述
Opti-Probe 5000 用于非接觸式晶圓膜厚測量,通過測量單層或多層晶圓上薄膜的光學(xué)參數(shù)(反射光和建模的薄膜參數(shù)),計算出薄膜厚度。Opti-Probe 5000 集成了多達(dá)六種不同的技術(shù)來測量薄膜厚度以及反射率,使用 laser,white light lamp,D2 lamp 等光源進(jìn)行測量。
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產(chǎn)品詢價